发明授权
- 专利标题： Micromirror for MEMS device
- 专利标题（中）： 用于MEMS器件的微镜
-
申请号： US10849672申请日： 2004-05-19
-
公开(公告)号： US07057794B2公开(公告)日： 2006-06-06
- 发明人: Shen-Ping Wang , Yuh-Hwa Chang , Fei-Yuh Chen , David Ho , Chia-Chiang Chen
- 申请人： Shen-Ping Wang , Yuh-Hwa Chang , Fei-Yuh Chen , David Ho , Chia-Chiang Chen
- 申请人地址： TW Hsin-Chu
- 专利权人： Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
- 当前专利权人： Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd.
- 当前专利权人地址： TW Hsin-Chu
- 代理机构： Tung & Associates
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00 ; B05D5/06
摘要：
A micromirror which includes a substrate, a reflective layer comprising pure aluminum overlying the substrate and a protective layer comprising titanium nitride overlying the reflective layer is disclosed.
公开/授权文献
- US20050259311A1 Micromirror for MEMS divice 公开/授权日：2005-11-24
信息查询
