发明授权
- 专利标题： Process for fabrication of a ferroelectric capacitor
- 专利标题（中）： 铁电电容器制造工艺
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申请号： US10651614申请日： 2003-08-29
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公开(公告)号： US07199002B2公开(公告)日： 2007-04-03
- 发明人: Karl Hornik , Rainer Bruchhaus , Nicolas Nagel
- 申请人： Karl Hornik , Rainer Bruchhaus , Nicolas Nagel
- 申请人地址： unknown Munich
- 专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人地址： unknown Munich
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 主分类号： H01L27/108
- IPC分类号： H01L27/108
摘要：
A process for the fabrication of a ferroelectric capacitor comprising depositing a layer of Ti 5 over an insulating layer 3 of Al2O3, and oxidising the Ti layer to form a TiO2 layer 7. Subsequently, a layer of PZT 9 is formed over the TiO2 layer 7. The PZT layer 9 is subjected to an annealing step in which, due to the presence of the TiO2 layer 7 it crystallises to form a layer 11 with a high degree of (111)-texture.
公开/授权文献
- US20050045932A1 Process for fabrication of a ferroelectric capacitor 公开/授权日：2005-03-03
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