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US07395697B2 Force method for determining the spring constant of scanning probe microscope cantilevers using MEMS actuators
失效
使用MEMS执行器确定扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数的力法
- 专利标题： Force method for determining the spring constant of scanning probe microscope cantilevers using MEMS actuators
- 专利标题（中）： 使用MEMS执行器确定扫描探针显微镜悬臂的弹簧常数的力法
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申请号： US11458017申请日： 2006-07-17
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公开(公告)号： US07395697B2公开(公告)日： 2008-07-08
- 发明人: Richard K. Workman , Storrs T. Hoen , George M. Clifford, Jr.
- 申请人： Richard K. Workman , Storrs T. Hoen , George M. Clifford, Jr.
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Agilent Technologies, Inc.
- 当前专利权人： Agilent Technologies, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 主分类号： G01B5/28
- IPC分类号： G01B5/28
摘要：
In accordance with the invention, the spring constant of a scanning probe microscope cantilever mechanically coupled to a MEMs actuator may be determined in-situ by application of a force to the scanning probe microscope cantilever.
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