发明授权
- 专利标题： Use of partially fluorinated polymers in applications requiring transparency in the ultraviolet and vacuum ultraviolet
- 专利标题（中）： 在需要紫外线和真空紫外线透明度的应用中使用部分氟化聚合物
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申请号： US10475245申请日： 2002-05-14
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公开(公告)号： US07438995B2公开(公告)日： 2008-10-21
- 发明人: Roger Harquail French , Robert Clayton Wheland , Weiming Qiu
- 申请人： Roger Harquail French , Robert Clayton Wheland , Weiming Qiu
- 申请人地址： US DE Wilmington
- 专利权人： E.I. du Pont de Nemours and Company
- 当前专利权人： E.I. du Pont de Nemours and Company
- 当前专利权人地址： US DE Wilmington
- 国际申请： PCT/US02/18392 WO 20020514
- 国际公布： WO02/093261 WO 20021121
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; C08F12/20 ; C08F14/18 ; C08F114/18
摘要：
Disclosed are partially fluorinated and fully fluorinated polymers that are substantially transparent to ultraviolet radiation at wavelengths from approximately 150 nanometer to 260 nanometers.