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US07521366B2 Manufacturing method of electro line for liquid crystal display device 有权
液晶显示装置电线制造方法

Manufacturing method of electro line for liquid crystal display device
摘要：
A manufacturing method of an electro line for a liquid crystal display device includes depositing a barrier layer made of a conducting material on a substrate, depositing a copper layer (Cu) on the barrier layer, wet-etching the Cu layer using a first etchant, and dry-etching the barrier layer using a second etchant using the wet-etched Cu layer as an etch mask.
摘要（中）：

液晶显示装置用电线的制造方法包括在基板上沉积由导电材料制成的阻挡层，在阻挡层上沉积铜层（Cu），使用第一蚀刻剂对Cu层进行湿蚀刻， 并使用使用湿蚀刻Cu层作为蚀刻掩模的第二蚀刻剂干蚀刻阻挡层。

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