Piezo resistive pressure sensor

发明授权

US07571650B2 Piezo resistive pressure sensor 失效

标题翻译：压电式压力传感器

摘要：

Various embodiments and methods relating to a pressure sensor having a flexure supported piezo resistive sensing element are disclosed.

摘要（中）：

公开了与具有弯曲支撑的压电感测元件的压力传感器有关的各种实施例和方法。

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IPC分类:

G	物理
G01	测量；测试
G01L	测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）
G01L9/00	用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力；用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移，该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的（测量两个或多个压力差值的入G01L13/00；同时测量两个或多个压力值的入G01L15/00）
G01L9/02	.利用改变欧姆电阻值的，例如，使用电位计
G01L9/06	..压电电阻器件的