发明授权
- 专利标题： Carbon electrode for generation of nitrogen trifluoride gas
- 专利标题（中）： 用于产生三氟化氮气体的碳电极
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申请号： US11572938申请日： 2005-08-03
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公开(公告)号： US07608235B2公开(公告)日： 2009-10-27
- 发明人: Akimasa Tasaka , Masashi Kodama , Udai Tanaka , Hitoshi Takebayashi , Tetsuro Tojo , Atsuhisa Mimoto
- 申请人： Akimasa Tasaka , Masashi Kodama , Udai Tanaka , Hitoshi Takebayashi , Tetsuro Tojo , Atsuhisa Mimoto
- 申请人地址： JP Osaka-shi JP Tokyo
- 专利权人： Toyo Tanso Co., Ltd.,Mitsui Chemicals, Inc.
- 当前专利权人： Toyo Tanso Co., Ltd.,Mitsui Chemicals, Inc.
- 当前专利权人地址： JP Osaka-shi JP Tokyo
- 代理机构： Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： JP2004-229326 20040805
- 国际申请： PCT/JP2005/014197 WO 20050803
- 国际公布： WO2006/013888 WO 20060209
- 主分类号： C01B21/088
- IPC分类号： C01B21/088 ; C25B1/24 ; C25B1/00
摘要：
A carbon electrode for producing gaseous nitrogen trifluoride comprising a dense texture with an average pore size of 0.5 μm or less is provided. The carbon electrode contains a carbonaceous material, and 3 to 10 wt % of at least one selected from magnesium fluoride and aluminum fluoride which have a melting point not lower than the baking temperature of the carbonaceous material.
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