发明授权
- 专利标题： Probe and method for fabricating the same
- 专利标题（中）： 探针及其制造方法
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申请号： US11665918申请日： 2005-10-20
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公开(公告)号： US07692434B2公开(公告)日： 2010-04-06
- 发明人: Tomohisa Hoshino , Yoshiki Yamanishi , Hiroyuki Hashimoto
- 申请人： Tomohisa Hoshino , Yoshiki Yamanishi , Hiroyuki Hashimoto
- 申请人地址： JP
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： JP
- 代理机构： Finnegan, Henderson, Farabow, Garrett & Dunner, LLP
- 优先权： JP2004-308132 20041022
- 国际申请： PCT/JP2005/019335 WO 20051020
- 国际公布： WO2006/043645 WO 20060427
- 主分类号： G01R31/02
- IPC分类号： G01R31/02
摘要：
A probe needle 20 includes a cantilever 21, a column 22 and a tip 23. The column 22 is cantilevered from an end of the cantilever 21. The tip 23 is formed on a top end of the column 22. The column 22 is formed so as to be longer than the tip 23. The heights of the column 22 and tip 23 are chosen so that their sum is twice or more than twice the width of the columnar 22.
公开/授权文献
- US20080001102A1 Probe and Method for Fabricating the Same 公开/授权日：2008-01-03
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