发明授权
US07713356B2 Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them
有权
清洁片，使用其的输送部件，以及使用它们的基板处理设备清洗方法
- 专利标题： Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them
- 专利标题（中）： 清洁片，使用其的输送部件，以及使用它们的基板处理设备清洗方法
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申请号： US10297173申请日： 2001-05-08
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公开(公告)号： US07713356B2公开(公告)日： 2010-05-11
- 发明人: Makoto Namikawa , Yoshio Terada , Jirou Nukaga , Eiji Toyoda
- 申请人： Makoto Namikawa , Yoshio Terada , Jirou Nukaga , Eiji Toyoda
- 申请人地址： JP Osaka
- 专利权人： Nitto Denko Corporation
- 当前专利权人： Nitto Denko Corporation
- 当前专利权人地址： JP Osaka
- 代理机构： Sughrue Mion, PLLC
- 优先权： JP2000-168423 20000606; JP2000-177963 20000614; JP2000-177964 20000614; JP2000-230339 20000731; JP2000-243752 20000811; JP2000-349840 20001116; JP2001-004634 20010112
- 国际申请： PCT/JP01/03848 WO 20010508
- 国际公布： WO01/94036 WO 20011213
- 主分类号： B08B7/00
- IPC分类号： B08B7/00 ; B32B3/00
摘要：
A cleaning sheet for cleaning foreign matters away from the interior of the substrate processing equipment is provided. The cleaning sheet includes a cleaning layer having substantially no tackiness and having a tensile modulus of not lower than 0.98 N/mm2 as determined according to JIS K7127. Alternatively, the cleaning sheet includes a cleaning layer having a Vickers hardness of not lower than 10.
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