Resist collapse prevention using immersed hardening

Invention Grant

US07767984B2 Resist collapse prevention using immersed hardening 有权

Title translation: 使用浸入式硬化防止塌陷

Abstract:

A method, tool, and machine for hardening a photoresist image while the photoresist image is immersed in a liquid.

Abstract(Chinese):

一种用于在光致抗蚀剂图像浸入液体中时使光致抗蚀剂图像硬化的方法，工具和机器。

Public/Granted literature

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Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）