发明授权
- 专利标题： Probe device
- 专利标题（中）： 探头设备
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申请号： US12020251申请日： 2008-01-25
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公开(公告)号： US07795889B2公开(公告)日： 2010-09-14
- 发明人: Erich Kolmhofer
- 申请人： Erich Kolmhofer
- 申请人地址： DE Neubiberg
- 专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人地址： DE Neubiberg
- 代理机构： Dicke, Billig & Czaja, PLLC
- 主分类号： G01R31/02
- IPC分类号： G01R31/02
摘要：
A probe device for testing a semiconductor chip includes a substrate and a balun formed on the substrate. The balun includes first and second differential ports and a single-ended port. The probe device includes first and second probe tips respectively coupled to the first and second differential ports.
公开/授权文献
- US20090189621A1 PROBE DEVICE 公开/授权日：2009-07-30
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