发明授权
- 专利标题： Structure and method for flexible sensor array
- 专利标题（中）： 柔性传感器阵列的结构和方法
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申请号： US11963008申请日： 2007-12-21
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公开(公告)号： US07824949B2公开(公告)日： 2010-11-02
- 发明人: Sanjiv Sambandan , William S. Wong , Rene A. Lujan , Scott J. Limb
- 申请人： Sanjiv Sambandan , William S. Wong , Rene A. Lujan , Scott J. Limb
- 申请人地址： US CA Palo Alto
- 专利权人： Palo Alto Research Center Incorporated
- 当前专利权人： Palo Alto Research Center Incorporated
- 当前专利权人地址： US CA Palo Alto
- 代理机构： Marger Johnson & McCollom PC
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00
摘要：
A method of forming a sensor array. The method includes depositing a source/drain contact layer; depositing a semiconductor layer on the source/drain contact layer; and patterning the source/drain contact layer and the semiconductor layer substantially simultaneously, wherein the patterned semiconductor layer forms part of a sensor of the sensor array.
公开/授权文献
- US20090159940A1 STRUCTURE AND METHOD FOR FLEXIBLE SENSOR ARRAY 公开/授权日：2009-06-25
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IPC分类:
