发明授权
US07848031B2 Hologram and method of manufacturing an optical element using a hologram
有权
全息图和使用全息图制造光学元件的方法
- 专利标题： Hologram and method of manufacturing an optical element using a hologram
- 专利标题（中）： 全息图和使用全息图制造光学元件的方法
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申请号： US11795598申请日： 2006-01-20
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公开(公告)号： US07848031B2公开(公告)日： 2010-12-07
- 发明人: Jochen Hetzler , Susanne Beder , Heiko Feldmann
- 申请人： Jochen Hetzler , Susanne Beder , Heiko Feldmann
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 代理机构： Sughrue Mion, PLLC
- 国际申请： PCT/EP2006/000518 WO 20060120
- 国际公布： WO2006/077145 WO 20060727
- 主分类号： G02B3/02
- IPC分类号： G02B3/02
摘要：
A method of manufacturing an optical element (5) comprises testing an optical surface (3) of the optical element, using an interferometer 1a directing measuring light (23a) onto the optical surface wherein the measuring light traverses two successive holograms (44, 48) disposed in the beam path of the measuring light upstream of the optical surface.
公开/授权文献
信息查询
IPC分类:
| G | 物理 |
| G02 | 光学 |
| G02B | 光学元件、系统或仪器 |
| G02B3/00 | 简单或复合透镜 |
| G02B3/02 | .具有非球面的（G02B3/10优先） |
