发明授权
- 专利标题： Charged particle extraction device and method of design there for
- 专利标题（中）： 带电粒子提取装置及其设计方法
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申请号： US10588981申请日： 2004-10-16
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公开(公告)号： US07872242B2公开(公告)日： 2011-01-18
- 发明人: Roderick Boswell , Orson Sutherland
- 申请人： Roderick Boswell , Orson Sutherland
- 申请人地址： US OR Hillsboro AU Canberra
- 专利权人： FEI Company,Australian National University
- 当前专利权人： FEI Company,Australian National University
- 当前专利权人地址： US OR Hillsboro AU Canberra
- 代理机构： Scheinberg & Griner, LLP
- 代理商 Michael O. Scheinberg; David Griner
- 优先权： AU2003905709 20031017
- 国际申请： PCT/US2004/034984 WO 20041016
- 国际公布： WO2005/038821 WO 20050428
- 主分类号： H01J27/00
- IPC分类号： H01J27/00
摘要：
The present invention provides a method for extracting a charged particle beam from a charged particle source. A set of electrodes is provided at the output of the source. The potentials applied to the electrodes produce a low-emittance growth beam with substantially zero electric field at the output of the electrodes.
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