发明授权
- 专利标题： System for testing semiconductors
- 专利标题（中）： 半导体测试系统
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申请号： US12653574申请日： 2009-12-15
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公开(公告)号： US07940069B2公开(公告)日： 2011-05-10
- 发明人: Peter Andrews , David Hess
- 申请人： Peter Andrews , David Hess
- 申请人地址： US OR Beaverton
- 专利权人： Cascade Microtech, Inc.
- 当前专利权人： Cascade Microtech, Inc.
- 当前专利权人地址： US OR Beaverton
- 代理机构： Chernoff, Vilhauer, McClung & Stenzel
- 主分类号： G01R31/02
- IPC分类号： G01R31/02
摘要：
A testing system that includes an plural imaging devices capturing plural video sequences from a single optical path and concurrently displaying the video sequences for effectively positioning a probe for testing a semiconductor wafer.
公开/授权文献
- US20100097467A1 System for testing semiconductors 公开/授权日：2010-04-22
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