发明授权
- 专利标题： Electromechanical device with optical function separated from mechanical and electrical function
- 专利标题（中）： 具有光学功能的机电装置与机电功能分离
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申请号： US11772777申请日： 2007-07-02
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公开(公告)号： US07944599B2公开(公告)日： 2011-05-17
- 发明人: Clarence Chui , William Cummings , Brian Gally , Lior Kogut , Ming-Hau Tung , Yeh-Jiun Tung , Chih-Wei Chiang , Denis Endisch
- 申请人： Clarence Chui , William Cummings , Brian Gally , Lior Kogut , Ming-Hau Tung , Yeh-Jiun Tung , Chih-Wei Chiang , Denis Endisch
- 申请人地址： US CA San Diego
- 专利权人： QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
- 当前专利权人： QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA San Diego
- 代理机构： Knobbe, Martens, Olson & Bear, LLP
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00
摘要：
A microelectromechanical (MEMS) device includes a substrate, a movable element over the substrate, and an actuation electrode above the movable element. The movable element includes a deformable layer and a reflective element. The deformable layer is spaced from the reflective element.
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