发明授权
- 专利标题： Multiple beam micro-machining system and method
- 专利标题（中）： 多光束微加工系统及方法
-
申请号： US12350510申请日： 2009-01-08
-
公开(公告)号： US07947922B2公开(公告)日： 2011-05-24
- 发明人: Abraham Gross , Zvi Kotler , Eliezer Lipman , Dan Alon
- 申请人： Abraham Gross , Zvi Kotler , Eliezer Lipman , Dan Alon
- 申请人地址： IL Yavne
- 专利权人： Orbotech Ltd.
- 当前专利权人： Orbotech Ltd.
- 当前专利权人地址： IL Yavne
- 代理机构： Sughrue Mion, PLLC
- 主分类号： B23K26/38
- IPC分类号： B23K26/38
摘要：
A system for delivering energy to a substrate includes a laser energy source providing a plurality of laser beams, wherein each of the beams is steered to an independently selectable location on a target, and is independently focused onto the target.
公开/授权文献
- US20090114629A1 MULTIPLE BEAM MICRO-MACHINING SYSTEM AND METHOD 公开/授权日：2009-05-07