发明授权
- 专利标题： Array element device control method and apparatus
- 专利标题（中）： 阵列元件装置控制方法及装置
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申请号： US12318034申请日： 2008-12-19
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公开(公告)号： US08089672B2公开(公告)日： 2012-01-03
- 发明人: Patricius Aloysius Jacobus Tinnemans , Heine Melle Mulder , Marius Ravensbergen , Wilfred Edward Endendijk , Jozef Ferdinand Dymphna Verbeeck
- 申请人： Patricius Aloysius Jacobus Tinnemans , Heine Melle Mulder , Marius Ravensbergen , Wilfred Edward Endendijk , Jozef Ferdinand Dymphna Verbeeck
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 代理机构： Pillsbury Winthrop Shaw Pittman LLP
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08
摘要：
A method of controlling an element of an array of individually controllable elements. The method includes varying a frequency of a driving voltage with which the element is driven.
公开/授权文献
- US20090190197A1 Device control method and apparatus 公开/授权日：2009-07-30
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