发明授权
- 专利标题： Flat-panel display semiconductor process for efficient manufacturing
- 专利标题（中）： 平板显示半导体工艺高效制造
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申请号： US12946762申请日： 2010-11-15
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公开(公告)号： US08174078B2公开(公告)日： 2012-05-08
- 发明人: Jackson H. Ho , Jeng Ping Lu
- 申请人： Jackson H. Ho , Jeng Ping Lu
- 申请人地址： US CA Palo Alto
- 专利权人： Palo Alto Research Center Incorporated
- 当前专利权人： Palo Alto Research Center Incorporated
- 当前专利权人地址： US CA Palo Alto
- 代理机构： Blakely Sokoloff Taylor & Zafman
- 主分类号： H01L23/62
- IPC分类号： H01L23/62
摘要：
An embodiment is a method and apparatus to fabricate a flat panel display. A poly-last structure is formed for a display panel using an amorphous silicon or amorphous silicon compatible process. The poly-last structure has a channel silicon precursor. The display panel is formed from the poly-last structure using a polysilicon specific or polysilicon compatible process.
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