发明授权
- 专利标题： Fluid dispensing system having vacuum unit
- 专利标题（中）： 具有真空单元的流体分配系统
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申请号： US13023098申请日： 2011-02-08
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公开(公告)号： US08197582B1公开(公告)日： 2012-06-12
- 发明人: Jeffrey P. Fugere
- 申请人： Jeffrey P. Fugere
- 申请人地址： US MA Haverhill
- 专利权人： DL Technology, LLC.
- 当前专利权人： DL Technology, LLC.
- 当前专利权人地址： US MA Haverhill
- 代理机构： Onello & Mello, LLP
- 主分类号： B01D19/00
- IPC分类号： B01D19/00
摘要：
A fluid dispensing system includes a dispensing pump for delivering the fluid material to a substrate. The fluid dispensing system further includes a vacuum unit that draws a vacuum on the feed tube for removing gas impurities from the fluid material.
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