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发明授权
US08238074B2 Capacitive RF-MEMS device with integrated decoupling capacitor 有权
具有集成去耦电容器的电容RF-MEMS器件

  • 专利标题： Capacitive RF-MEMS device with integrated decoupling capacitor
  • 专利标题（中）： 具有集成去耦电容器的电容RF-MEMS器件
  • 申请号： US11913285
    申请日： 2006-04-21
  • 公开(公告)号： US08238074B2
    公开(公告)日： 2012-08-07
  • 发明人: Peter Gerard Steeneken
  • 申请人： Peter Gerard Steeneken
  • 申请人地址： DE Munich
  • 专利权人： EPCOS AG
  • 当前专利权人： EPCOS AG
  • 当前专利权人地址： DE Munich
  • 代理机构： Slater & Matsil, L.L.P.
  • 优先权： EP05103644 20050502
  • 国际申请： PCT/IB2006/051247 WO 20060421
  • 国际公布： WO2006/117709 WO 20061109
  • 主分类号： H01G5/16
  • IPC分类号： H01G5/16 ;  H01G7/00 ;  H01G7/06
Capacitive RF-MEMS device with integrated decoupling capacitor
摘要：
The present invention provides a capacitive RF-MEMS device comprising a vertically integrated decoupling capacitor (14). The decoupling capacitor (14) therefore does not take extra area. Furthermore, the RF-MEMS according to the invention needs less interconnects, which also saves space and which reduces the series inductance/resistance in the RF path.
摘要（中）：

本发明提供一种包括垂直集成去耦电容器（14）的电容式RF-MEMS器件。 因此，去耦电容器（14）不占用额外的面积。 此外，根据本发明的RF-MEMS需要更少的互连，这也节省了空间，并且降低了RF路径中的串联电感/电阻。

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