发明授权
- 专利标题： Cantilever with paddle for operation in dual-frequency mode
- 专利标题（中）： 悬臂用双桨模式操作
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申请号： US12586172申请日： 2009-09-16
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公开(公告)号： US08250668B2公开(公告)日： 2012-08-21
- 发明人: Hendrik Hölscher , Santiago De Jesus Solares
- 申请人： Hendrik Hölscher , Santiago De Jesus Solares
- 申请人地址： DE Karlsruhe US MD College Park
- 专利权人： Forschungszentrum Karlsruhe GmbH,University of Maryland
- 当前专利权人： Forschungszentrum Karlsruhe GmbH,University of Maryland
- 当前专利权人地址： DE Karlsruhe US MD College Park
- 代理机构： Lucas & Mercanti, LLP
- 代理商 Klaus P. Stoffel
- 主分类号： G01Q60/24
- IPC分类号： G01Q60/24
摘要：
A microcantilever system comprising a paddle, its use and a method of simultaneously acquiring the topography and measuring the tip-sample interactions of a sample with it.
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