发明授权
- 专利标题： Method of manufacturing a patterned media stamper
- 专利标题（中）： 制造图案化介质压模的方法
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申请号： US12178416申请日： 2008-07-23
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公开(公告)号： US08312609B2公开(公告)日： 2012-11-20
- 发明人: Gennady Gauzner , Nobuo Kurataka , Dieter Klaus Weller , Christopher Joseph Formato
- 申请人： Gennady Gauzner , Nobuo Kurataka , Dieter Klaus Weller , Christopher Joseph Formato
- 申请人地址： US CA Cupertino
- 专利权人： Seagate Technology, LLC
- 当前专利权人： Seagate Technology, LLC
- 当前专利权人地址： US CA Cupertino
- 代理机构： Ladas & Parry, LLP
- 主分类号： B23P17/00
- IPC分类号： B23P17/00 ; C23C16/00
摘要：
The invention relates to a method of manufacturing a patterned media Ni stamper comprising depositing a perfluorodecyltrichlorosilane release layer. The release layer eliminates bonding at the master-stamper interface. A permanent master for manufacturing a patterned media stamper is also provided.
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