发明授权
- 专利标题： Electrical routing
- 专利标题（中）： 电气路由
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申请号： US14042214申请日： 2013-09-30
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公开(公告)号： US08922870B2公开(公告)日： 2014-12-30
- 发明人: Ankur Jain , Roman C. Gutierrez
- 申请人： DigitalOptics Corporation MEMS
- 申请人地址： US CA San Jose
- 专利权人： DigitalOptics Corporation MEMS
- 当前专利权人： DigitalOptics Corporation MEMS
- 当前专利权人地址： US CA San Jose
- 代理机构： Haynes and Boone, LLP
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00 ; G02B26/08 ; B81C1/00 ; B81B3/00 ; G03B3/10
摘要：
An electronic device may have a MEMS device formed of a first conductive material. A trench may be formed in the MEMS device. A layer of non-conductive material may be formed in the trench. A second conductive material may be formed upon the non-conductive material.
公开/授权文献
- US20140036342A1 Electrical Routing 公开/授权日：2014-02-06
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