发明授权
- 专利标题： Load port
- 专利标题（中）： 加载端口
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申请号： US13364789申请日： 2012-02-02
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公开(公告)号： US09010384B2公开(公告)日： 2015-04-21
- 发明人: Takehiko Yoshimura , Tatsuhiko Nagata , Masaru Seki , Yoshinori Cho
- 申请人： Takehiko Yoshimura , Tatsuhiko Nagata , Masaru Seki , Yoshinori Cho
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Right Mfg. Co. Ltd.
- 当前专利权人： Right Mfg. Co. Ltd.
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Dilworth & Barrese, LLP.
- 主分类号： B65B31/04
- IPC分类号： B65B31/04 ; H01L21/54 ; B01L1/00 ; H01L21/677
摘要：
A load part has a nozzle unit having outlets for generating outflow and/or inflow of gas used for replacing the atmosphere of a wafer storage container, in a direction approximately parallel to spaces between adjacent wafers being stored, are a driving unit for extending the nozzle unit to a door opening portion.
公开/授权文献
- US20130000757A1 LOAD PORT 公开/授权日：2013-01-03
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IPC分类:
