发明授权
- 专利标题： Microflowmeter and method for making same
- 专利标题（中）： 微流量计及其制作方法
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申请号： US14114445申请日： 2012-04-27
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公开(公告)号： US09163965B2公开(公告)日： 2015-10-20
- 发明人: Yves Fouillet , Alain Bourgerette , Olivier Fuchs
- 申请人： Yves Fouillet , Alain Bourgerette , Olivier Fuchs
- 申请人地址： FR Paris
- 专利权人： Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
- 当前专利权人： Commissariat a l'energie atomique et aux energies alternatives
- 当前专利权人地址： FR Paris
- 代理机构： Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： FR1153646 20110428
- 国际申请： PCT/EP2012/057855 WO 20120427
- 国际公布： WO2012/146756 WO 20121101
- 主分类号： G01F1/37
- IPC分类号： G01F1/37 ; G01F1/40 ; G01F1/38
摘要：
A flowmeter includes a first chamber and a second chamber connected through a channel. The first chamber is provided with a first deformable membrane and with first and second gauges. The second chamber is provided with a second deformable membrane and with third and fourth gauges. The four gauges form a Wheatstone bridge.
公开/授权文献
- US20140060206A1 MICROFLOWMETER AND METHOD FOR MAKING SAME 公开/授权日：2014-03-06
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