发明授权
US09181080B2 MEMS microphone with low pressure region between diaphragm and counter electrode
有权
MEMS麦克风在隔膜和对电极之间具有低压区域
- 专利标题： MEMS microphone with low pressure region between diaphragm and counter electrode
- 专利标题（中）： MEMS麦克风在隔膜和对电极之间具有低压区域
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申请号： US13931584申请日： 2013-06-28
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公开(公告)号： US09181080B2公开(公告)日： 2015-11-10
- 发明人: Alfons Dehe , Andreas Froemel
- 申请人： Infineon Technologies AG
- 申请人地址： DE Neubiberg
- 专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人： Infineon Technologies AG
- 当前专利权人地址： DE Neubiberg
- 代理机构： Slater & Matsil, L.L.P.
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; H04R23/00 ; B81C1/00 ; H04R7/02
摘要：
A MEMS microphone includes a first diaphragm element, a counter electrode element, and a low pressure region between the first diaphragm element and the counter electrode element. The low pressure region has a pressure less than an ambient pressure.
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