发明授权
- 专利标题： Hybrid dielectric moisture sensors
- 专利标题（中）： 混合电介质湿度传感器
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申请号： US13911371申请日： 2013-06-06
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公开(公告)号： US09285334B2公开(公告)日： 2016-03-15
- 发明人: Zhi David Chen
- 申请人： Zhi David Chen
- 代理机构： King & Schickli, PLLC
- 主分类号： G01R27/26
- IPC分类号： G01R27/26 ; G01N27/22
摘要：
A moisture sensor includes a first electrode, a layer of porous insulating material including a plurality of pores, a film of dielectric sensing material covering the inner surfaces of the plurality of pores and a second electrode.
公开/授权文献
- US20140361794A1 SILICON DIOXIDE MOISTURE SENSORS 公开/授权日：2014-12-11
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