发明授权
- 专利标题： Micromirror system and method of manufacturing a micromirror system
- 专利标题（中）： 微镜系统和微镜系统的制造方法
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申请号： US14386744申请日： 2013-03-20
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公开(公告)号： US09523848B2公开(公告)日： 2016-12-20
- 发明人: Ulrich Hofmann , Hans-Joachim Quenzer , Joachim Janes , Björn Jensen
- 申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Foerderung der Angewandten Forschung e.V.
- 申请人地址： DE Munich
- 专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.
- 当前专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V.
- 当前专利权人地址： DE Munich
- 代理机构： Faegre Baker Daniels LLP
- 优先权： DE102012005546 20120321
- 国际申请： PCT/EP2013/055852 WO 20130320
- 国际公布： WO2013/139866 WO 20130926
- 主分类号： G02B26/08
- IPC分类号： G02B26/08 ; G02B7/18 ; G02B7/182 ; B32B37/16 ; B32B38/00 ; B32B38/10 ; G02B1/12
摘要：
A micromirror system that includes a chip frame, at least one spring element, and at least one mirror plate oscillatorily suspended in the chip frame via the at least one spring element. The chip frame and the at least one spring element include at least one microchannel which is provided with an inlet opening and an outlet opening for leading through a flowing coolant.
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