- 专利标题： Method of making 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane
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申请号： US14915404申请日： 2014-09-03
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公开(公告)号： US09926203B2公开(公告)日： 2018-03-27
- 发明人: Xiaobing Zhou
- 申请人： Dow Corning Corporation
- 申请人地址： US MI Midland
- 专利权人： DOW CORNING CORPORTION
- 当前专利权人： DOW CORNING CORPORTION
- 当前专利权人地址： US MI Midland
- 代理商 Matthew T. Fewkes
- 国际申请： PCT/US2014/053774 WO 20140903
- 国际公布： WO2015/034855 WO 20150312
- 主分类号： C01B33/04
- IPC分类号： C01B33/04 ; C07F7/02 ; C23C16/24 ; H01L21/02 ; C23C18/12 ; C23C16/50
摘要：
A compound that is 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane, chemical compositions comprising same, methods of making and purifying 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane, the purified 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane prepared thereby, and methods of forming silicon-containing materials using 2,2,4,4-tetrasilylpentasilane as a precursor.
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