- 专利标题： Exhaust ring for manufacturing semiconductors
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申请号： US29183537申请日： 2003-06-12
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公开(公告)号： USD494552S1公开(公告)日： 2004-08-17
- 设计人: Kazuyuki Tezuka , Takashi Kitazawa , Norihiko Amikura , Hiroshi Koizumi
- 申请人： Kazuyuki Tezuka , Takashi Kitazawa , Norihiko Amikura , Hiroshi Koizumi
- 优先权： JP2002-034492 20021212; JP2002-034497 20021212
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