- 专利标题： Deposition chamber showerhead
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申请号： US29755418申请日： 2020-10-20
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公开(公告)号： USD969980S1公开(公告)日： 2022-11-15
- 设计人: Alexander N. Lerner , Graeme Jamieson Scott , Prashanth Kothnur
- 申请人： Applied Materials, Inc.
- 申请人地址： US CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
- 代理机构： Patterson + Sheridan, LLP
- LOC分类号： 2301
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