Invention Application
- Patent Title: 青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法
- Patent Title (English): Image forming material having bluish-violet laser-photosensitive resist material layer and resist image forming method therefor
- Patent Title (中): 具有蓝色紫外线激光敏感材料层的图像形成材料及其抗蚀剂图像形成方法
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Application No.: PCT/JP2003/009932Application Date: 2003-08-05
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Publication No.: WO2004015497A1Publication Date: 2004-02-19
- Inventor: 浦野 年由 , 亀山 泰弘 , 藤田 理恵子 , 宮沢 隆司 , 利光 恵理子
- Applicant: 三菱化学株式会社 , 浦野 年由 , 亀山 泰弘 , 藤田 理恵子 , 宮沢 隆司 , 利光 恵理子
- Applicant Address: 〒100-0005 東京都 千代田区 丸の内二丁目5番2号 Tokyo JP
- Assignee: 三菱化学株式会社,浦野 年由,亀山 泰弘,藤田 理恵子,宮沢 隆司,利光 恵理子
- Current Assignee: 三菱化学株式会社,浦野 年由,亀山 泰弘,藤田 理恵子,宮沢 隆司,利光 恵理子
- Current Assignee Address: 〒100-0005 東京都 千代田区 丸の内二丁目5番2号 Tokyo JP
- Agency: 泉名 謙治
- Priority: JP2002/229416 20020807; JP2002/365470 200201217; JP2003/17559 20030127; JP2003/34161 20030212; JP2003/44649 20030221
- Main IPC: G03F7/004
- IPC: G03F7/004
Abstract:
青紫色領域のレーザー光に対して高感度であると共に、膜厚を上げても感度が低下しない青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及びそのレジスト画像形成方法を提供する。 被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材であって、該感光性レジスト材層が、膜厚10μm以上であり、且つ、波長405nmにおける吸光度が膜厚1μm当たり0.3以下のものである青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及び、該画像形成材の感光性レジスト材層を、波長320~450nmのレーザー光により走査露光した後、現像処理するレジスト画像形成方法。
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IPC分类: