Invention Application
WO2004015497A1 青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法 审中-公开
具有蓝色紫外线激光敏感材料层的图像形成材料及其抗蚀剂图像形成方法

青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材及びそのレジスト画像形成方法
Abstract:
青紫色領域のレーザー光に対して高感度であると共に、膜厚を上げても感度が低下しない青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及びそのレジスト画像形成方法を提供する。 被加工基板上に青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材であって、該感光性レジスト材層が、膜厚10μm以上であり、且つ、波長405nmにおける吸光度が膜厚1μm当たり0.3以下のものである青紫色レーザー感光性レジスト材層を有する画像形成材、及び、該画像形成材の感光性レジスト材層を、波長320~450nmのレーザー光により走査露光した後、現像処理するレジスト画像形成方法。
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