固定部と、固定部に対して移動可能に設置された可動部とを具備し、固定部又は可動部に設けられた振動発生装置が超音波振動することにより可動部が浮上面を介して浮上するように構成された超音波浮上装置において、固定部に設けられた固定部側ガイド部の全部又は一部を浮上方向に沿った方向に凸状又は凹状に形成し、一方、可動部に設けられた可動部側ガイド部の全部又は一部を浮上方向に沿った方向に凹状又は凸状に形成して上記固定部側ガイド部に対向・配置させるようにしたもの。