洗浄性、すすぎ性に優れた、物品の洗浄すすぎ方法を提供する。 　汚染物質が付着した物品を、芳香族炭化水素またはグリコールエーテル類を含有する炭化水素系溶剤に接触させる洗浄工程と、含フッ素エーテルに接触させるすすぎ工程を有する物品の洗浄すすぎ方法であって、含フッ素エーテルが式１で表される化合物であることを特徴とする物品の洗浄すすぎ方法。 　Ｒ １ −Ｏ−Ｒ ２ 　・・・式１ 　ただし、Ｒ １ 、Ｒ ２ は、各々独立に含フッ素アルキル基を示す。Ｒ １ およびＲ ２ に含まれるフッ素原子の数はそれぞれ１以上であり、かつＲ １ およびＲ ２ に含まれる炭素原子の数の合計は４～８である。