Invention Application
- Patent Title: PROTECTION D’UNE MEMBRANE DEFORMABLE CONTRE DE FORTES DEFORMATIONS DANS UNE STRUCTURE MICROMECANIQUE
- Patent Title (English): Protection of a deformable membrane against large deformations in a micromechanical structure
- Patent Title (中): 在微观结构中防止大变形的可变膜的保护
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Application No.: PCT/FR2004/002236Application Date: 2004-09-02
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Publication No.: WO2005024370A1Publication Date: 2005-03-17
- Inventor: BRIDA, Sebastiano
- Applicant: AUXITROL S.A. , BRIDA, Sebastiano
- Applicant Address: 5, allée Charles Pathé, F-18000 Bourges FR
- Assignee: AUXITROL S.A.,BRIDA, Sebastiano
- Current Assignee: AUXITROL S.A.,BRIDA, Sebastiano
- Current Assignee Address: 5, allée Charles Pathé, F-18000 Bourges FR
- Agency: MARTIN, Jean-Jacques
- Priority: FR0310397 20030902
- Main IPC: G01L19/06
- IPC: G01L19/06
Abstract:
Structure micromécanique (20, 30) destinée à mesurer ou à détecter une grandeur mécanique ou une grandeur dynamique, comprenant une membrane déformable et un substrat support (10) comprenant une base support (4), la membrane étant suspendue au-dessus du substrat support définissant ainsi un espace libre, ladit structure micromécanique comportant en outre une butée (5) limitant les déformations de la membrane, ladite butée s’étendant dans l’espace libre à partir de la base support vers la membrane caractérisée en ce que la butée et la base support sont chacun en un matériau cristallin. L’invention concerne en outre un procédé de réalisation d’une telle structure micormécanique.
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