Invention Application
- Patent Title: 圧電素子及びそれを備えたインクジェットヘッド並びにそれらの製造方法
- Patent Title (English): Piezoelectric element, ink-jet head with same, and their manufacturing methods
- Patent Title (中): 压电元件，具有相同的喷嘴头及其制造方法
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Application No.: PCT/JP2004/014460Application Date: 2004-09-24
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Publication No.: WO2005031886A1Publication Date: 2005-04-07
- Inventor: 中川 徹 , 鳥井 秀雄
- Applicant: 松下電器産業株式会社 , 中川 徹 , 鳥井 秀雄
- Applicant Address: 〒5718501 大阪府門真市大字門真1006番地 Osaka JP
- Assignee: 松下電器産業株式会社,中川 徹,鳥井 秀雄
- Current Assignee: 松下電器産業株式会社,中川 徹,鳥井 秀雄
- Current Assignee Address: 〒5718501 大阪府門真市大字門真１００６番地 Osaka JP
- Agency: 前田 弘
- Priority: JP2003-333779 20030925
- Main IPC: H01L41/08
- IPC: H01L41/08
Abstract:
圧電素子１は、下部電極２と圧電体膜３と上部電極４とがその順に積層されて構成されている。この圧電素子１の上部電極４の表面に対して、ジルコニウム化合物６に曝す処理を施している。
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