低収縮で寸法変化の小さな導電性のＰＥＴフィルムを用いることで、高温耐性が優れ、耐摺動性の格段優れたタッチパネル用導電性フィルムを提供することを目的としている。ポリエチレンテレフタレートフィルムにより形成された層と、架橋性の物質が硬化成膜された硬化層とを少なくとも有する基体上に導電膜を形成してなり、前記基体の１５０℃で１時間加熱した後における長手方向（ＭＤ）及び横手方向（ＴＤ）の収縮率がいずれも０．５％以下であることを特徴とするタッチパネル用導電性フィルム、特にＩＴＯ等の無機系の透明導電膜をスパッタリング等の手法で付着させる前にＰＥＴフィルムに架橋性の物質を１００℃乃至１８０℃で硬化させることで、上記収縮率を０．５％以下にしたＰＥＴフィルム基体に透明導電膜を付着させたタッチパネル用導電性フィルムを提供する。