採取画像と設計データからぼけの経時変化を反映させた参照画像を作成することで推定高精度な欠陥検査を実現することを目的とする。観測画像と設計情報から点広がり関数を推定する点広がり関数推定部２３と、前記設計情報に対して前記点広がり関数を畳み込むことによって畳み込み画像を生成する畳み込み画像生成部３１と、前記畳み込み画像生成部で得られた前記畳み込み画像から参照画像を生成する参照画像生成部３２と、観測画像と参照画像とを比較することによりパターンの欠陥を検出する画像比較部３３とを備える。