絶縁層と、前記絶縁層の面方向に互いに離間して配置され、さらに前記絶縁層の厚み方向に貫通して伸びる複数の電極構造体を備えた接点膜を有し、前記電極構造体の各々は、前記絶縁層の表面に露出し、さらに前記絶縁層の表面から突出する表面電極部と、前記絶縁層の裏面に露出する裏面電極部と、前記表面電極部の基端から連続して前記絶縁層をその厚み方向に貫通して伸び、前記裏面電極部に連結された短絡部とよりなるとともに、前記短絡部の上端部分と前記表面電極部の基端部分との径が異なるよう肩部が設けられ、前記接点膜は、貫通孔が形成された金属フレーム板の貫通孔の周縁部に支持され、さらに、前記金属フレーム板の外周縁に前記絶縁層とは離間してリング状の支持部材が設けられているシート状プローブであって、 　前記絶縁層の熱線膨張係数をＨ１とし、 　前記金属フレーム板の熱線膨張係数をＨ２とし、 　前記リング状の支持部材の熱線膨張係数をＨ３としたとき、下記の条件（１）～（３）、すなわち、 　条件（１）：Ｈ１＝０．８×１０ -5 ～８×１０ -5 ／Ｋ 　条件（２）：Ｈ２／Ｈ１＜１ 　条件（３）：Ｈ３／Ｈ１＜１ を満足するシート状プローブである。