Invention Application
- Patent Title: VORRICHTUNG ZUR TEMPERIERTEN AUFBEWAHRUNG EINES BEHÄLTERS
- Patent Title (English): DEVICE FOR THE TEMPERED STORAGE OF A CONTAINER
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Application No.: PCT/EP2005/056519Application Date: 2005-12-06
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Publication No.: WO2006063956A3Publication Date: 2006-06-22
- Inventor: REINHOLD, Markus , STRAUCH, Gerhard, Karl
- Applicant: AIXTRON AG , REINHOLD, Markus , STRAUCH, Gerhard, Karl
- Applicant Address: Kackertstrasse 15-17, 52072 Aachen DE
- Assignee: AIXTRON AG,REINHOLD, Markus,STRAUCH, Gerhard, Karl
- Current Assignee: AIXTRON AG,REINHOLD, Markus,STRAUCH, Gerhard, Karl
- Current Assignee Address: Kackertstrasse 15-17, 52072 Aachen DE
- Agency: GRUNDMANN, Dirk et al.
- Priority: DE10 20041218
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24
Abstract:
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur temperierten Aufbewahrung eines Behälters (19) zur Aufnahme kondensierter Stoffe, die durch Verdampfen mittels eines durch den Behälter geleiteten Trägergases aus dem Behälter (19) transportiert werden, mit einem eine Kammer (25) ausbildenden Gehäuse (3), dessen Gehäusewand (3) wärmeisolierend ausgebildet ist, mit einem Durchgang (20, 21) in der Gehäusewand (3) für eine Gaszu- bzw. -ableitung (17, 18) zu dem bzw. von dem in der Kammer (25) angeordneten Behälter (19) und mit einer Heizung (16) oder Kühlung zur Temperierung der Kammer (25). Wesentlich ist, dass in der Kammer (25) ein Gasstromerzeuger (4) und den vom Gasstromerzeuger (4) erzeugten Gasstrom leitende Gasstromleitmittel (5-10) vorgesehen sind, wobei der vom Gasstromerzeuger erzeugte und von den Gasstromleitmitteln (5-10) gebildete Gasstrom von der Heizung (16) erwärmt wird und an dem Behälter (19) entlangströmt.
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