レーザ装置（１０）は、レーザアレイスタック（１２ａ～１２ｃ）を含む複数の光源（１１ａ～１１ｃ）を有している。レーザビーム（３２ｂ、３２ｃ）は、それぞれスリットミラー（１４）および偏光ビームスプリッタ（１６）によって偏向され、レーザビーム（３２ａ）と合成される。これらのレーザビームは、互いに傾斜した光軸と、互いに平行な遅軸方向を有している。集光光学系（２０）は、各光源からのレーザビームを遅軸方向に垂直な方向に沿って離れた位置に集光する。