ＦＭモードの走査プローブ顕微鏡のカンチレバーが、機械的Ｑ値が低い環境においても安定に振動し、かつ、カンチレバーとサンプルの相互作用に対して高い感度を持つ走査プローブ顕微鏡装置を提供する。 　カンチレバー（４）の共振周波数に近い周波数を持つ駆動信号を信号発生器（９）から振動励起手段（１０）に供給し、カンチレバー（４）を他励振動（強制振動）させる。振動検出手段（５）によって検出されたカンチレバー（４）の振動と前記駆動信号との位相差がゼロになるように、即ち前記駆動信号とカンチレバー（４）の共振周波数が一致するように、（１）前記駆動信号の周波数、または、（２）カンチレバーの共振周波数を（カンチレバー（４）とサンプル（１）の距離を調整することによって）制御する。