Invention Application
- Patent Title: BOLOMETER UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES BOLOMETERS
- Patent Title (English): Bolometer and method for producing a bolometer
- Patent Title (中): 测辐射热计和制造方法测辐射热计
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Application No.: PCT/EP2006/008790Application Date: 2006-09-08
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Publication No.: WO2008028512A1Publication Date: 2008-03-13
- Inventor: VOGT, Holger , RUSS, Marco
- Applicant: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , VOGT, Holger , RUSS, Marco
- Applicant Address: Hansastrasse 27c 80686 München DE
- Assignee: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.,VOGT, Holger,RUSS, Marco
- Current Assignee: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.,VOGT, Holger,RUSS, Marco
- Current Assignee Address: Hansastrasse 27c 80686 München DE
- Agency: SCHOPPE, Fritz et al.
- Main IPC: G01J5/20
- IPC: G01J5/20 ; H01L27/146
Abstract:
Ein Bolometer umfasst eine Membran, einen ersten Abstandshalter und einen zweiten Abstandshalter, wobei die Membran eine Widerstandsschicht und eine Kontaktschicht umfasst. Die Kontaktschicht weist an einer einem Untergrund zugewandten Seite einen ersten Kontaktbereich auf, an dem der erste Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert, und einen zweiten Kontaktbereich auf, an dem der zweite Abstandshalter die Kontaktschicht elektrisch kontaktiert. Dadurch wird die Membran in einem vorbestimmten Abstand zu dem Untergrund gehalten. Die Kontaktschicht ist lateral durch einen Spalt unterbrochen, so dass sich die Kontaktschicht zumindest in zwei Teile gliedert, von denen der erste Teil den ersten Kontaktbereich und der zweite Teil den zweiten Kontaktbereich aufweist und innerhalb der Kontaktschicht keine direkte Verbindung von dem ersten Kontaktbereich und dem zweiten Kontaktbereich existiert, und wobei sich die Widerstandsschicht in Kontakt zu dem ersten Teil der Kontaktschicht und zu dem zweiten Teil der Kontaktschicht befindet.
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