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WO2008032785A1 シールドケースおよびこれを有するMEMSマイクロホン 审中-公开
具有相同的屏蔽壳和MEMS麦克风

シールドケースおよびこれを有するMEMSマイクロホン
Abstract:
 気密性の観点から、ガスケットと密着する最低限の距離を天板上に確保することができるシールドケースおよびシールドケースを有するMEMSマイクロホンを提供する。  本発明のシールドケースは、基板に実装されたMEMSチップを外部から遮蔽するシールドケースであって、天板と複数の側面板とを備え、前記複数の側面板の肉厚が、前記天板の肉厚より大きいものである。この構成により、従来の均一肉厚のシールドケースと比較して、天板の面積を広くすることができる。よって、チャッキングエリアの位置・大きさ・範囲等を従来のシールドケースから変更することなく、ガスケットを天板に密着させる領域を確保することができる。
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