電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光を用いたリソグラフィー法に用いられるレジスト組成物を提供する。 　側鎖に含フッ素芳香族環構造を有する繰り返し単位（Ｆ）を含む酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する含フッ素重合体（Ｆ）と、酸を発生する化合物とを含む、電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光を用いたリソグラフィー法に用いられるレジスト組成物。たとえば、繰り返し単位（Ｆ）は、下記繰り返し単位（Ｆ Ｖ ）である（ただし、Ｒ Ｆ は水素原子、ハロゲン原子、メチル基またはハロメチル基（３個のＲ Ｆ は同一であってもよく、異なっていてもよい。）であり、Ｙ Ｆ は炭素数１～２０の酸分解性基または水素原子であり、ｐ、ｑおよびｒはそれぞれ独立に０～５の整数であり、かつｐ、ｑおよびｒの和は１～５の整数である。）。