本発明は、微小構造体装置の製造方法に関する。第２基板３の表面上に、ロウ材からなるボールと金属ボールとを含むペーストを塗布する塗布ステップと、ペーストを、ロウ材からなるボールの融点以上であって、かつ該ロウ材からなるボールおよび金属ボールにそれぞれ含まれる材料の化合物を介して金属ボール同士が連結される温度未満の温度に加熱する加熱ステップと、ペーストに第１基板２の表面を接触させて、第１基板と第２基板とを熱圧着し、第１基板および第２基板を、化合物と金属ボールとを介して接続する熱圧着ステップとを備えてなる。