電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光を用いたリソグラフィー法に用いられるレジスト組成物を提供する。 　主鎖に結合したフッ素原子または含フッ素アルキル基を有し、側鎖に芳香族環構造を有する繰り返し単位（Ｆ）を含む酸の作用によりアルカリ溶解性が増大する含フッ素重合体（ＰＦ）と、酸発生剤とを含む、電子線、Ｘ線またはＥＵＶ光を用いたリソグラフィー法に用いられるレジスト組成物。たとえば、前記繰り返し単位（Ｆ）は、下記繰り返し単位（Ｆ Ｖ １）、（Ｆ Ｖ ２）、（Ｆ Ｖ ３）および（Ｆ Ｖ ４）からなる群から選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位（Ｆ Ｖ ｎ）である（Ｘ Ｆ１ は－Ｆまたは－ＣＦ ３ を、ｒ１およびｒ２はそれぞれ独立に０～２の整数（ｒ１とｒ２の和は１～３の整数である。）を、Ｙ Ｆ はアルキル基、アルコキシアルキル基、アルキルカルボニル基およびアルコキシカルボニルアルキル基からなる群から選ばれる、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～２０の基、Ｗ Ｆ はアルキル基、アルコキシアルキル基およびアルコキシカルボニルアルキル基からなる群から選ばれる、フッ素原子を有していてもよい炭素数１～２０の基、を示す。）。