本发明提供一种D / V转换器，该D / V转换器具有高分辨率并且具有相对于数字值的良好线性度以及配备有这种D / A转换器的电子束光刻系统。 用于解决问题的手段AD / A转换器（30）包括由用于高阶位D / A转换的第一D / A转换部分和第二D / A转换部分构成的D / A转换基本单元（35） 用于低位比特的D / A转换的部分，具有与最低有效位相同权重的辅助比特，校正D / A转换单元（38），用于产生数字 要在校正D / A转换单元（38）的D / A转换器中设置的代码，以及控制单元（34）。 控制单元（34）将第一位电流源与第二位电流源以比第一位电流源低的电平进行比较，允许误差检测单元（33）产生要在D中设置的数字代码 / A转换器，如果控制单元（34）判断位电流源的值已经改变，并且校正位电流源的值，则校正D / A转换单元（38）的/ A转换器。