マイクロポンプシステムを有するマイクロ流体デバイスにおいて、製造工程の簡素化を図ると共に、さらなる小型化を図る。 　マイクロ流体デバイス１は、ガス発生部３を有する。ガス発生部３は、基板１０と、ガス発生層２０とを有している。基板１０は、第１の主面１０ａと第２の主面１０ｂとを有する。基板１０には、少なくとも第１の主面１０ａに開口するマイクロ流路１４が形成されている。ガス発生層２０は、基板１０の第１の主面１０ａに、開口１４ａを覆うように配置されている。ガス発生層２０は、外部刺激を受けることによりガスを発生させる。